균일도1 반도체 8대 공정이란? 4. 식각공정 제대로 알기 (에치 공정, 균일도, 선택비, 식각속도) 식각공정이란? 식각공정은 포토공정에서 정의된 영역의 하부 박막을 제거해서 원하는 반도체 회로 형상을 만드는 공정입니다. 따라서, 포토공정에서 만들어진 모양 그대로 식각할 수 있는지가 중요합니다. 아래와 같이 포토 공정에서 감광제가 있는 곳은 제외한 산화막을 제거하는 과정입니다. 따라서, 필요한 회로패턴을 제외한 나머지 부분을 깎아내는 공정이라고 이해하면 됩니다. 식각에는 습식식각과 건식식각으로 나뉩니다. 식각에서는 아래 기준이 매우 중요합니다. 식각속도 (Etch Rate) = 식각된 두께 (thickness) / 식각 시간 (time), Å/s이 됩니다. 따라서 높은 식각속도가 선호됩니다. 선택비(Selectivity) = Etch Rate A / Etch Rate B (Etch Rate A = 식각해.. 2021. 10. 31. 이전 1 다음
