웨이퍼산화공정1 반도체 8대 공정이란? 2. 산화공정 제대로 알기 산화 공정 산화공정이란? 실리콘을 SiO2를 만드는 작업입니다. 실리콘이 공기 또는 물에 노출되면 자연산화막을 생성하게 됩니다. 여러 방법이 있지만 IC 기술에서는 thermal oxidation(열산화 공정)을 주로 사용합니다. 중요한 점은 SiO2를 증착(eg. CVD 등등)하는 것을 산화 공정이라고 하지 않고, 이미 존재하는 실리콘 층을 SiO2로 바꾸는 것을 산화라고 합니다. Si와 SiO2가 결합하면 크기는 SiO2 > Si이고 열팽창계수는 Si>SiO2입니다. 따라서 온도가 낮아졌을 때 크기가 줄어들면 SiO2는 Si위에서 압축력을 받는 형태가 됩니다. SiO2 특성 - 실리콘에 잘 붙어있습니다. (Interface quality) - 회로 사이에 누설전류가 흐르는 것을 차단하는 절연막 -> .. 2021. 9. 27. 이전 1 다음