8대공정2 반도체 8대 공정이란? 2. 산화공정 제대로 알기 산화 공정 산화공정이란? 실리콘을 SiO2를 만드는 작업입니다. 실리콘이 공기 또는 물에 노출되면 자연산화막을 생성하게 됩니다. 여러 방법이 있지만 IC 기술에서는 thermal oxidation(열산화 공정)을 주로 사용합니다. 중요한 점은 SiO2를 증착(eg. CVD 등등)하는 것을 산화 공정이라고 하지 않고, 이미 존재하는 실리콘 층을 SiO2로 바꾸는 것을 산화라고 합니다. Si와 SiO2가 결합하면 크기는 SiO2 > Si이고 열팽창계수는 Si>SiO2입니다. 따라서 온도가 낮아졌을 때 크기가 줄어들면 SiO2는 Si위에서 압축력을 받는 형태가 됩니다. SiO2 특성 - 실리콘에 잘 붙어있습니다. (Interface quality) - 회로 사이에 누설전류가 흐르는 것을 차단하는 절연막 -> .. 2021. 9. 27. 반도체 8대 공정이란? 1. 웨이퍼 제조 공정 제대로 알기 1. 웨이퍼 제조 Overview: 잉곳 만들기 - 잉곳 절단 - 웨이퍼 표면 연마 우선 , 웨이퍼란? 웨이퍼는 반도체 집적회로를 만드는 주요 부품으로, 웨이퍼 위에 다수의 동일 회로를 만들어 반도체 집적회로를 만듭니다. 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 성장시켜 만든 단결정 기둥을 얇게 썬 원판을 의미합니다. 여기서 '성장'이라는 표현이 있는 데, 영어로는 crystal growth이며 결정화(crystallization) 과정의 주요 단계입니다. 결정화 단계는 크게 핵화(nuclearization)와 성장(growth)이 있으며 성장 단계는 핵 또는 분자가 핵에 흡착되어 핵 형성 부위로부터 결정 구조를 바깥으로 전파하는 것을 의미합니다. Step 1: 잉곳 만들기 실리콘을 모래에서 추출.. 2021. 9. 16. 이전 1 다음
